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离子束镀膜及离子束刻蚀设备

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LSK150型低温升离子束刻蚀机

2017-02-16 点击量：

1. 用带能中性离子束对样品进行干法刻蚀，制造微细图形。适用于各类金属膜，半导体膜和介质膜，半导体MEMS微器件
2. 具有物理溅射刻蚀、真空室通气体反应刻蚀、离子源通气体反应刻蚀功能
镀膜室全不锈钢结构，外表面喷砂处理，外形美观

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