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离子束镀膜及离子束刻蚀设备

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LSJ700C型多功能离子束复合镀膜设备

2017-02-16 点击量：

1. 应用非常广泛，如可用于高速运转条件的耐磨材料表面的镀膜和改性，例如高速轴承、陀螺等，耐辐射耐腐蚀材料、多种功能材料的搀杂等，例如铜钼薄膜材料制备和掺杂等等。
2. 可实现离子束工件预清洗、离子源溅射沉积、离子源辅助溅射沉积功能
3. 镀膜室全不锈钢结构，外表面喷砂处理，外形美观

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