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离子束镀膜及离子束刻蚀设备

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LSJ500E离子束溅射镀膜机

2017-02-16 点击量：

1. 采用Kaufman离子源进行溅射镀膜，宽束离子源进行工件预清洗与辅助溅射沉积，以提高薄膜的质量和结合强度
2. 适合镀制金属薄膜、半导体薄膜、介质薄膜、磁性薄膜、光学薄膜等。除了镀样品平面，在结构上也可以设计成微电子器件侧面电极镀膜。可用于光栅镀膜、MEMS半导体器件镀膜、红外器件工艺镀膜等生产和科研工作

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