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离子束镀膜及离子束刻蚀设备

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LSJ500A型离子束溅射镀膜机

2017-02-15 点击量：

1. 可实现离子束工件预清洗、单源溅射沉积、双源辅助溅射沉积、反应溅射沉积，同时具有离子束中和功能，形成中性离子束
2. 用于MEMS器件的镀膜，如火箭的传感器、声表面波传感器等等，也可以用于其他方面的镀膜

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LSJ500A型离子束溅射镀膜机

1. 可实现离子束工件预清洗、单源溅射沉积、双源辅助溅射沉积、反应溅射沉积，同时具有离子束中和功能，形成中性离子束 2. 用于MEMS器件的镀膜，如火箭的传感器、声表面波传感器等等，也可以用于其他方面的镀膜

1. 可实现离子束工件预清洗、单源溅射沉积、双源辅助溅射沉积、反应溅射沉积，同时具有离子束中和功能，形成中性离子束
2. 用于MEMS器件的镀膜，如火箭的传感器、声表面波传感器等等，也可以用于其他方面的镀膜