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单晶炉和高温炉

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THG2/3A碳化硅单晶炉

2017-03-07 点击量：

1. 用于生产碳化硅柱状单晶
2. 籽晶杆与坩埚杆可上下平移与旋转，旋转速度连续可调
3. 中频感应加热，最高温度2400℃
4. 设备控制采用PLC控制，触摸屏配置PLD控制系统

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THG2/3A碳化硅单晶炉

1. 用于生产碳化硅柱状单晶 2. 籽晶杆与坩埚杆可上下平移与旋转，旋转速度连续可调 3. 中频感应加热，最高温度2400℃ 4. 设备控制采用PLC控制，触摸屏配置PLD控制系统

1. 用于生产碳化硅柱状单晶
2. 籽晶杆与坩埚杆可上下平移与旋转，旋转速度连续可调
3. 中频感应加热，最高温度2400℃
4. 设备控制采用PLC控制，触摸屏配置PLD控制系统