ZFD-500A型侧面电极专用镀膜机

2017-03-06 点击量：

1. 用于在MEMS微器件侧面镀制金属电极，如火箭传感器等
2. 由镀膜室、蒸发源、直流离子轰击、工件架、分子泵真空获得和测量系统、气路系统、机架、电气及计算机控制系统等组成
3. 计算机控制系统采用PLC集中控制，使真空控制、烘烤控制、旋转控制、蒸发等功能集成在一块触摸屏上
4. 工件架有多个工位，每个工位有多个角度可调节，工件架可旋转，可摆动，可加热，多组蒸发源交替使用
5. 采用直流离子轰击清洗工件