有机蒸发镀膜系统

2017-03-04 点击量：

1. 采用热蒸发制备有机光伏电池(OPV)的吸收层和有机发光二极管(OLED、PLED)的发光层有机小分子或聚合物材料，以及采用热蒸发和磁控溅射方法镀金属电极。另外预留太阳光模拟器，用户可扩展样品测试功能
2. 中金属蒸发镀膜室在手套箱内，两个镀膜室之间采用样品传递杆进行样品传递。具有PLC计算机自动控制功能，可以设定后自动运行
3. 有机与金属镀膜室样品转速连续可调,膜厚均匀性良好,样品载台通过磁力传递杆取下及装上
4. 多组有机蒸发源，可共蒸也可独自工作，之间有隔板隔离；多组金属蒸发源之间有隔板隔离
5. 在金属镀膜室内配有磁控靶，靶水冷，角度可调，靶基距可调