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有机蒸发

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OLED560A型镀膜设备

2017-03-09 点击量:

1. 通过制备OLED器件,对有机材料性能进行测试,每天可制备大量样品。设备控制采用自动化水平比较高的控制方式,镀膜均匀性良好
2. 有机镀膜室中有多种不同有机蒸发源;金属镀膜室有多组金属蒸发源,有样品掩膜机构