鹿鼎平台官网与美国西南研究院合作“等离子体加强型

2017-04-27 点击量：

       然而由于科技发展的日新月异，现阶段的镀膜设备存在膜材原子或分子的束流强度较低、镀膜速率缓慢、膜层厚度较薄等缺点，很难满足一些高精尖端行业对膜层的更高要求，这点尤其体现在与我市产业链息息相关的航空航天、军工产品、汽车制造业、机械制造业、医疗等等领域。因此，LUDING鹿鼎根据当前市场与科技发展趋势，结合大量真空设备研发经验，集中优势技术，在回旋式磁控溅射镀膜设备的基础上，鹿鼎平台官网自主开发研制了新型镀膜技术——等离子体加强型磁控溅射技术。该技术在现有的磁控溅射镀膜技术基础上，通过电子发射源，达到等离子体增强的效果，使离化率提高，获得结构致密、附着性更好、表面更平整、硬度更高的薄膜，通过大量的实验数据表明，该技术解决了传统磁控溅射镀膜技术的缺点，使束流强度提高20倍；镀膜速率提高3倍；膜层厚度增厚10倍。该技术属于高端技术领域，同时其应用领域非常广泛，可应用于我市重点产业链，如航空航天发动机、鼓风机、飞机汽车零部件、汽轮机、军舰制退器、枪管炮管、轴瓦、细丝、刀具模具等。
       2016年1月，鹿鼎平台官网决定自主研发新型等离子体加强型磁控溅射技术，并组建了等离子体加强型磁控溅射研发团队，同时与国外优秀专家进行技术合作。在项目初期，鹿鼎平台官网耗资50余万元搭建了简易的实验系统--等离子体加强型磁控溅射实验系统，并在该系统上进行大量实验，经过不断探索与调整，最终得到了理想的初步实验结果，验证了该技术的优越性。由于生产样机的成本较高，考虑到生产样机的巨大风险，鹿鼎平台官网邀请美国西南研究院(Southwest Research Institute)进一步验证该技术的可靠性与优越性。美国西南研究院的大量实验数据结果与鹿鼎平台官网实验结果吻合，因此鹿鼎平台官网决定投资生产等离子体加强型磁控溅射样机一台—回旋式等离子体加强型磁控溅射设备，并在原实验系统的基础上，增加了离子氮化功能。目前该设备已处于装配阶段，马上可投入使用。
       由于当前市场上极少有适用于在细丝细杆类工件上镀膜的真空设备，迫于现实需求，某军工企业希望鹿鼎平台官网开发在细丝上镀膜的等离子体加强型磁控溅射设备，提升该细丝的综合性能。同样考虑到风险，鹿鼎平台官网再次邀请美国西南研究院验证新技术的可行性。通过实验验证，美国西南研究院的实验结果与鹿鼎平台官网实验结果吻合。因此，鹿鼎平台官网在前一台样机的基础上，研发了适用于细丝类工件的新型等离子体加强型磁控溅射镀膜设备—卷绕连续式等离子体加强型磁控溅射设备，并优化了设备结构，提高了靶材利用率，节约了耗材成本，可实现连续镀膜，镀膜方式为国内首创，同时解决了生产效率问题，申请发明专利(申请号: 201610065026.3)。目前，该设备已投入生产。
       由于该技术的应用前景广泛，市场需求迫切，鹿鼎平台官网急需将该技术进行广泛推广，使其适用于更多领域，最终实现销售。因此，鹿鼎平台官网准备结合前两台设备的优势，生产一台适用于在管内镀膜的等离子体加强型磁控溅射镀膜设备。该设备尤其适用于军工产品，例如在枪管和炮管内镀膜，降低摩擦系数，提高其耐高温性能、耐冲击性能与使用寿命。
       以上三种型号的等离子体加强型磁控溅射镀膜设备均可实现量产，相比于传统磁控溅射镀膜设备，性能更为优越，应用范围更加广泛。基于该技术的应用前景广泛，市场需求迫切，在样机生产后可马上实现销售，现已有大量客户对前两种型号的设备提出购买意向。