“回旋式磁控溅射镀膜设备”国家创新基金项目

2017-04-27 点击量：

回旋式磁控溅射镀膜设备依据磁控溅射原理，采用了离子辅助镀膜技术和脉冲偏压溅射技术，应用1992年美国5096562号专利提出的旋转柱型磁控溅射靶的结构原理，攻克了传统靶气体利用率低、灵活性差、胶圈的使用寿命短、易产生高压放电等问题。还以斜靶补偿结构和多功能样品悬挂架技术，解决了复杂基片的镀膜均匀度差、有镀膜死角等问题。通过磁控溅射镀制多层光学膜的方法，可以镀制出纳米级复合膜，其膜厚均匀度达到3%，并且光泽度好，从而大幅度提高了产品的镀膜质量，生产过程完全实现了高效、节能、环保。
本回旋式磁控溅射镀膜设备整体结构布局合理，可以消除复杂外形产品成膜时的阴影区，满足不同种类、形状产品的镀膜要求，具有一定的灵活性，可镀制出多种颜色的薄膜，现已获得国家发明专利。整个彩镀设备配有电控操作系统，实现了镀膜生产过程中的全自动和半自动控制，方便快捷，安全性高。
真空镀膜技术是真空应用技术的重要组成部分，是许多前沿学科发展的基础技术之一。随着国民经济的发展，真空镀膜设备在工业中的应用越来越广，各领域的不同需求对真空镀膜设备的设计提出了越来越严格的要求。因此，加强高性能真空镀膜设备的设计开发工作势在必行。
鹿鼎平台官网申请的回旋式磁控溅射镀膜设备技术领先，可在塑料材料、金属材料、玻璃材料表面镀制金属、合金半导体以及金属化合物等薄膜，广泛应用于光电薄膜、半导体电子学用薄膜、高端表面装饰等工业领域。应用广泛，市场竞争力强。
 
三、项目实施情况

第一阶段：
公司从2012年7月到2012年12月，依据产品的性能检测报告及用户使用报告等，对项目相关设备进行了性能检测及总结分析，对回旋式磁控溅射镀膜设备的结构、工艺等方面进行改进，并对产品生产车间、设备安装与工艺调试车间等现场进行改造，并购置产品生产原材料、配套件等，准备进行批量生产。
第二阶段：
公司从2013年1月到2013年12月，针对产品初步生产过程中遇到的问题进行产品工艺的改进，并继续购置设备生产所需的原材料及配套件等，产品较顺利地进入批量生产阶段。
第三阶段：
公司从2014年1月到2014年12月，积极寻找合作用户并开拓新市场，同时进一步完善产品的结构性能，实现产品大批量生产。
第四阶段：
由于受国际形势的影响，使得原定的销售市场流失，为此公司积极调整市场方向，进一步提高产品质量，开发新市场，于2015年5月完成了预定的销售目标。
3.项目产品销售情况
本项目经过试产验证，结果稳定，目前已经达到批量生产阶段，先后为多家用户提供了本项目产品，包括辽宁科技大学、江西科技师范大学、香港纳米及先进材料研发院有限公司、印尼CV.EL SHADDAI、沙特阿卜杜拉国王大学、北京恒佳永勤科技发展有限公司、深圳市金瑞凯利生物科技有限公司、江西科翔仪器设备有限公司、北京鑫瑞新材料有限公司、杰希优（深圳）科技有限公司（日本JCU）等国内外多家单位。
经多家用户验证，该项目所用技术新颖，产生的试验结果稳定、良好。目前该项目已经在国内外及港台地区有了良好的用户基础，市场前景广阔。
4.项目产品成果
（1） 本项目获得了一项发明专利，专利号：ZL 2009 1 0012996.7。
（2）本项目产品获得了2014年辽宁省“专精特新”产品。
（3）本项目产品公司已经制定企业标准并通过了沈阳市质量技术监督局的审核鉴定和备案。
（4）企业通过了ISO9001:2008质量管理体系认证。
 
四、项目合同指标完成情况
（一）总体指标
合同约定：本项目所采用的主要（关键）技术及应达到的技术性能指标为乙方在项目申请材料的“项目技术与产品实现”中表述的内容。
完成情况：回旋式磁控溅射镀膜设备的关键技术指标已经达到：极限真空1.8×10^-4Pa，真空室充干燥氮气开门再从大气状态重新抽到真空度2×10^-5Torr(2.6×10^-3Pa)的时间小于15分钟。加热器温度最高为350℃，精度误差1℃，膜厚均匀性3%，工件架能实现公转+自转、公转+自转+垂直面自转、公转+水平面自转。
技术指标全部完成。
（二）项目实施目标
合同约定：本项目在合同到期时，项目产品形态为最终消费产品；项目所处阶段达到批量生产阶段，项目产品销售达到批量阶段，产品化拟执行的质量标准类型为企业标准，获得证书情况为：
1.企业获得质量认证体系证书：无
2.本项目获得国家相关行业许可：无
3.本项目获得的专利证书：无
4.本项目获得的技术、产品鉴定证书：通过专业机构技术、产品鉴定证书
完成情况：本项目在合同到期时，项目产品形态为最终消费产品；项目所处阶段达到批量生产阶段，项目产品销售达到批量阶段，产品化拟执行的质量标准类型为企业标准，获得证书情况为：
1.企业通过的质量认证体系证书：ISO9001:2008
2.项目通过的国家相关行业许可：无
3.项目获得的专利：一项发明专利，专利号：ZL 2009 1 0012996.7 
4.项目获得的技术、产品鉴定证书：2014年“专精特新”产品
项目实施目标全部完成。
 
五、项目执行过程中存在的问题
本项目是与日本荏原优吉莱特株式会社合作的项目，产品提供给该公司，预计在日本销售5台。但由于受中日关系恶化影响，预计的销售目标没有达到，项目销售遇到了困境。
2012年，昆明贵研铂业股份有限公司和中国地质大学（北京）两家用户欲分别购置一台回旋式磁控溅射镀膜设备，技术指标都已经谈妥，但由于用户资金未到位使得项目拖后，直到2015年才最终签订购销合同。
2013年，公司根据国内外市场变化，积极调整市场方向，将项目向装饰镀膜、工具镀膜等领域转移，并销往国内市场及香港、印尼、沙特阿拉伯等地，重新开拓了市场，最终完成了预定的销售指标。
 
六、本项目对公司的影响
1.营造了良好的创业环境，加快企业发展 
创新基金项目的实施，为鹿鼎平台官网营造了良好的创业环境，相对于其他大中型企业来说，鹿鼎平台官网在硬件设施和资金实力方面明显处于劣势，在项目申报中，与它们相比很难得到经费的扶持。而创新基金项目的资助，使鹿鼎平台官网充分享受到政府科技经费的扶持，为鹿鼎平台官网提供了良好的创业创新平台，在创业创新中发挥生力军的作用。通过项目的实施，公司资产规模得到大规模的提升，企业创新能力得到增强，产品得到社会认可，企业销售等经济指标得到改善。这也充分体现了创新基金项目的巨大作用，使得鹿鼎平台官网技术水平和行业地位得到提高，企业也在此过程中不断成长、发展壮大。
2.提升企业创新能力 
创新基金项目的实施，给公司研发工作注入催化剂，加快了研发速度，促进鹿鼎平台官网形成自主知识产权和核心技术，通过创新项目的实施，企业在完成创新基金项目后，技术水平得到大幅度提升，公司引进了高层次人才，技术队伍得到了加强，这些都为企业提高了技术和人才的储备。创新基金项目的实施也使企业后续的技术创新得到激励，继续得到政府部门项目资助的可能也将不断提高，这一方面使企业争取到更多的资金支持，另一方面也充分体现了创新基金项目的引导作用，使得政府的资金投入得到了有效回报。 
3.培养和推动了我市真空行业的发展 
创新基金项目的实施，一方面对鹿鼎平台官网提供了经费的补充 ，增强了企业的信心，同时也通过创新基金项目的实施，对公司及产品起到了推广宣传作用，增强了鹿鼎平台官网及产品的知名度，带动了其他力量加入到真空行业中来，推动了我市真空行业的快速发展。通过创新基金项目实施带来宣传和引导作用，周边新增零部件加工企业，上下游配套得以本地化，增加大量工人就业，创造了良好的社会效益。 
 
七、企业未来发展规划构想 
1.稳步发展，做大企业规模，增强企业综合实力
通过创新基金项目的实施，公司资产规模得到大规模的提升，企业创新能力得到增强，产品也得到社会认可，企业销售等经济指标得到改善。公司在相关技术领域和行业的整体水平得到提高，企业也在这种良性循环中不断成长、发展壮大，企业综合实力明显得到提升，呈现出快速发展态势。  
公司将以科技创新为动力，坚持高新技术和先进适用技术改造提升传统产业化之路。将不断加大科技研发投入，加强和完善企业现代化管理，做大企业规模，优化生产控制方案，更新技术操作规程，组织职工开展产业化生产系统培训，进一步降低设制造成本。调整经营结构，走集设计、加工、安装的综合型企业之路。
2.加大科技投入，提升企业自主创新能力，提升产品科技含量
通过创新基金项目实施，促进企业形成了自主知识产权和核心技术，提升产品附加值。同时通过创新项目的实施，企业引进了高层次人才，技术队伍得到了加强，提高了技术和人才的储备，提高企业技术创新能力。公司将继续加大科技投入，进一步加强公司技术力量，配备专业合理，各具特长的专业技术人员队伍，提升技术研发创新能力水平，提高产品核心竞争力。此外公司也将强化和高校、科研院所的合作，将双方优势互补，构成产学研相结合的技术创新体系，推动和加快自主创新步伐。 
3.增强市场营销能力 
酒香不怕巷子深的时代已经过去，好酒还需勤吆喝，改变陈旧思维方式，增强市场营销能力是公司发展的必然条件，公司将专门培养和招聘相结合，选择具有多年营销经验、业务能力强、熟知产品性能、灵活掌握市场信息的人员充实到营销部门，并规范企业的营销行为，增大推广应用力度及方式，提高营销效率，增强公司营销能力。
LUDING鹿鼎
2015年6月